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適用于半導(dǎo)體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤，硬烤，電鍍工藝，采用SUS304潔凈不銹鋼材質(zhì)，進(jìn)口超高效H.E.P.A過濾器，自動(dòng)開關(guān)風(fēng)門結(jié)構(gòu)，通過內(nèi)部不斷循環(huán)過濾，不斷過濾內(nèi)部partical快速形成無氧潔凈環(huán)境，機(jī)臺(tái)采用大功率三相靜音低震動(dòng)馬達(dá)，不銹鋼渦輪扇葉，獨(dú)特設(shè)計(jì)渦輪結(jié)構(gòu)，結(jié)合雙循環(huán)風(fēng)道，形成風(fēng)量均勻的循環(huán)熱風(fēng)，實(shí)現(xiàn)高潔凈，溫度均勻的無氧烘烤環(huán)境，確保烘烤物料受熱均勻，無氧化現(xiàn)象發(fā)生。